반도체 및 디스플레이 산업에서 FDC에 연결하여 사용 가능한 Modbus(모드버스) 통신을 지원합니다.

(Modbus(모드버스)는 PLC등에 사용되는 통신방식으로 SECS/GEM의 S1F3과 유사한 프로토콜 제공)

(Sensor M2, ㄷㅂㅎㅇㅌ에서 2007년부터 수년간 검증된 Sensor M(or DAQ Sensor) 계승 제품)

Modbus를 통하여 반도체 장비의 센서 값을 읽고 쓸 수 있습니다.

2 개의 Analog 출력 가능 

14 개의 센서 값을 동시에 읽기 가능 

 센서 이상 유무의 간접 판단을 위한 내부 온도 제공

 1μV 측정가능, TC(열전쌍, Thermocouple) 직접연결 가능

예: 반도체 공장 2층에 있는 Etch/CVD/PVD/CMP등의 장비 센서 값을 3층 사무실에서 수집, 분석, 처리, 저장등을 하고 있습니다

반도체 라인에서 바로 적용가능하도록 저희 사무실에서 Modbus 프로토콜을 사전 탑재하여, 관련 설정 완료한 후 Test까지 사전 완료후 납품하므로 바로 사용 가능합니다.

참고:
http://en.wikipedia.org/wiki/Modbus

2007년 출시되었던 SIK (Sensor Integration Kit, original Edition) 정보 

  /goods/view?no=255

 참고: T7, CB37, Modbus, Setup, Test, Service, DAQ Sensor, SIK

2013년 12월 19일 SIK2 출시

2014년 05월 11일 모델명 변경 (Sensor M2)